理工学研究科Graduate School of Science and Engineering
ELC500X2（電気電子工学 / Electrical and electronic engineering 500）ナノマイクロシステム工学特論Nano-Micro System Engineering
笠原 崇史Takashi KASAHARA
授業コードなどClass code etc
| 学部・研究科Faculty/Graduate school | 理工学研究科Graduate School of Science and Engineering |
| 添付ファイル名Attached documents | |
| 年度Year | 2022 |
| 授業コードClass code | YA554 |
| 旧授業コードPrevious Class code | |
| 旧科目名Previous Class title | |
| 開講時期Term | 春学期授業/Spring |
| 曜日・時限Day/Period | 金2/Fri.2 |
| 科目種別Class Type | |
| キャンパスCampus | 小金井 |
| 教室名称Classroom name | 各学部・研究科等の時間割等で確認 |
| 配当年次Grade | |
| 単位数Credit(s) | 2 |
| 備考（履修条件等）Notes | |
| 実務経験のある教員による授業科目Class taught by instructors with practical experience | |
| カテゴリーCategory | 電気電子工学専攻 |
すべて開くShow all
すべて閉じるHide All
Outline (in English)
(Course outline)
This course introduces the basic physics of inorganic and organic materials and the micro- and nanofabrication techniques in order to understand the characteristics of the electronic devices.
(Learning Objectives)
At the end of this course, you will be able to understand the basic operation of the electronic devices fabricated by N/MEMS and printing technologies.
(Learning activities outside of classroom)
Students will be expected to spend four hours on preparing and reviewing each class.
(Grading Criteria /Policy)
Grading will be decided based on the quality of reports (30%) and presentation (70%). To pass this course, students must earn at least 60 points out of 100.
授業で使用する言語Default language used in class
日本語 / Japanese
授業の概要と目的（何を学ぶか）Outline and objectives
MEMSデバイス、有機ELなどの最先端デバイスの動作原理を理解するための電気電子材料の基礎物性および、デバイス作製のための微細加工、薄膜形成技術について学ぶ。
到達目標Goal
従来のデバイスの電気特性および作製技術について理解し、機能性ナノ・マイクロデバイスを提案できる。
この授業を履修することで学部等のディプロマポリシーに示されたどの能力を習得することができるか（該当授業科目と学位授与方針に明示された学習成果との関連）Which item of the diploma policy will be obtained by taking this class?
ディプロマポリシーのうち、「DP1」「DP2」「DP3」に関連
授業で使用する言語Default language used in class
日本語 / Japanese
授業の進め方と方法Method(s)（学期の途中で変更になる場合には、別途提示します。 /If the Method(s) is changed, we will announce the details of any changes. ）
演習、討議をまじえながら講義形式で進める。講義は板書、配布資料、スライドにより進める。演習問題は、講義中に模範解答を解説することでフィードバックする。
社会情勢に伴う各回の授業計画・実施方法の変更については、学習支援システムでその都度提示する。
アクティブラーニング（グループディスカッション、ディベート等）の実施Active learning in class (Group discussion, Debate.etc.)
あり / Yes
フィールドワーク（学外での実習等）の実施Fieldwork in class
なし / No
授業計画Schedule
授業形態/methods of teaching：対面/face to face
※各回の授業形態は予定です。教員の指示に従ってください。
第1回[オンライン/online]：総論
授業計画の説明、エレクトロニクスデバイスで用いられる電気電子材料とデバイスの作製技術
第2回[対面/face to face]：無機および有機半導体材料の構成(1)
シリコンを母材とする半導体デバイスのキャリアの振る舞いとエネルギーバンド図
第3回[対面/face to face]：無機および有機半導体材料の構成(2)
有機化合物と炭素の結合、多環芳香族化合物、有機半導体の電子構造
第4回[対面/face to face]：無機および有機半導体材料の構成(3)
有機半導体材料の特徴、有機デバイスの概要
第5回[対面/face to face]：MEMSプロセスとデバイス(1)
半導体製造の前工程および後工程、MEMSデバイスの種類
第6回[対面/face to face]：MEMSプロセスとデバイス(2)
MEMSデバイスの作製工程、ナノ加工技術、最新のMEMS技術
第7回[対面/face to face]：有機半導体材料を用いた自発光素子(1)
有機ELの動作原理、仕事関数、キャリアの注入・輸送現象、有機薄膜の形成、デバイスの評価
第8回[対面/face to face]：有機半導体材料を用いた自発光素子(2)
発光性分子の励起状態、注入・輸送層材料の特徴、有機薄膜の形成方法、有機ELの歴史と最新の研究事例
第9回[対面/face to face]：機能性液体を用いた自発光素子
液体有機半導体を用いた有機EL素子、最新の機能性液体材料の研究事例
第10回[対面/face to face]：有機電気化学の原理を利用した自発光素子
電極電位、電子移動と物質輸送、電気化学発光素子の発光原理
第11回[対面/face to face]：印刷技術と電子デバイス
印刷技術による回路形成方法、圧電材料を用いたアクチュエータの動作原理、フレキシブルセンサ
第12回[対面/face to face]：表面改質技術と濡れ性評価
表面分析技術、励起状態の酸素、自己組織化単分子膜
第13回[対面/face to face]：研究事例(1)
最新のMEMSデバイスの研究事例を基に討議を行う
第14回[対面/face to face]：研究事例(2)
最新の有機エレクトロニクスデバイスの研究事例を基に討議を行う
授業時間外の学習（準備学習・復習・宿題等）Work to be done outside of class (preparation, etc.)
【本授業の準備・復習時間は、各４時間を標準とします。】
1.講義資料を復習する。
2.講義内容について、理解を深めるため、参考書・インターネット等で調べる。
テキスト（教科書）Textbooks
特に指定しない
参考書References
菅博『増補改訂版 図説電子デバイス』(産業図書)、松本智『基礎から学ぶ電子物性』(電気学会)、『薄膜ハンドブック(第2版)』(オーム社)、『先端有機半導体デバイス』(オーム社)など
成績評価の方法と基準Grading criteria
[評価方法] 討議(70%)、講義時に実施する演習(30%)による
[評価基準] 本科目において設定した目標を60％以上達成している学生を合格とする
学生の意見等からの気づきChanges following student comments
理解を助けるために、資料を充実させる。
その他の重要事項Others
民間企業の研究開発に携わってきた教員が、大学における基礎研究の意義や、大学での研究活動が企業で役に立つ事例を紹介する。