理工学研究科Graduate School of Science and Engineering
ELC500X2（電気電子工学 / Electrical and electronic engineering 500）応用ナノマイクロデバイス特論Advanced Applied Nano/Micro Device
水野 潤Jun MIZUNO
授業コードなどClass code etc
| 学部・研究科Faculty/Graduate school | 理工学研究科Graduate School of Science and Engineering |
| 添付ファイル名Attached documents | |
| 年度Year | 2022 |
| 授業コードClass code | YA545 |
| 旧授業コードPrevious Class code | |
| 旧科目名Previous Class title | |
| 開講時期Term | 秋学期授業/Fall |
| 曜日・時限Day/Period | 木3/Thu.3 |
| 科目種別Class Type | |
| キャンパスCampus | 小金井 |
| 教室名称Classroom name | 各学部・研究科等の時間割等で確認 |
| 配当年次Grade | |
| 単位数Credit(s) | 2 |
| 備考（履修条件等）Notes | |
| 実務経験のある教員による授業科目Class taught by instructors with practical experience | |
| カテゴリーCategory | 電気電子工学専攻 |
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Outline (in English)
This course introduces advanced Nano/Micro-devices based microelectromechanical systems (MEMS) processes. At the end of this course, students will be able to propose novel functional Nano/Micro-devices and acquire skills in preparing a research proposal and making oral presentation through group work. Students will be expected to spend four hours on preparing and reviewing each class. Grading will be decided based on short report (50%) and presentation (50%). To pass this course, students must earn at least 60 points out of 100.
授業で使用する言語Default language used in class
日本語 / Japanese
授業の概要と目的（何を学ぶか）Outline and objectives
MEMS（マイクロエレクトロメカニカルスステム）技術を使った、半導体マイクロ・ナノデバイスの各種の要素技術の基礎とその応用デバイス動作原理を学ぶ。さらにグループを形成してその内で共同作業を行い、グループリサーチプロポーザルを行い、グループによるプレゼンテーションの基礎を学ぶ。
到達目標Goal
MEMSの要素技術を学び、その内容から独自アイデアのマイクロ・ナノデバイスのコンセプトをグループリサーチとして提案可能になる。
この授業を履修することで学部等のディプロマポリシーに示されたどの能力を習得することができるか（該当授業科目と学位授与方針に明示された学習成果との関連）Which item of the diploma policy will be obtained by taking this class?
ディプロマポリシーのうち、「DP1」「DP2」「DP3」に関連
授業で使用する言語Default language used in class
日本語 / Japanese
授業の進め方と方法Method(s)（学期の途中で変更になる場合には、別途提示します。 /If the Method(s) is changed, we will announce the details of any changes. ）
講義は配布資料を中心に説明し、必要に応じて板書し進める。理解を助けるために、毎回各自3行纏め報告を作成させる。
次にその後2名1組（総人数によっては1組のみ3名）のグループに分けてグループリサーチの要素技術や提案するコンセプトについて討論をさせる。討議に対し、教員が講評を述べることでフィードバックする。
アクティブラーニング（グループディスカッション、ディベート等）の実施Active learning in class (Group discussion, Debate.etc.)
あり / Yes
フィールドワーク（学外での実習等）の実施Fieldwork in class
なし / No
授業計画Schedule
授業形態/methods of teaching：オンライン/online
※各回の授業形態は予定です。教員の指示に従ってください。
第1回[オンライン/online]：講義の授業計画の説明・概論
リサーチプロポーザルグループ分け（2人1組、総人数によって3人1組）
第2回[オンライン/online]：ナノ・マイクロ技術(1)の座学とグループディスカッション
フォトリソグラフィー、その他の微細加工の討議
第3回[オンライン/online]：ナノ・マイクロ技術(2)の座学とグループディスカッション
成膜技術、薄膜形成の討議
第4回[オンライン/online]：ナノ・マイクロ技術(3)の座学とグループディスカッション
エッチング技術（ウエット、ドライ）、エッチング技術の応用についての討議
第5回[オンライン/online]：ナノ・マイクロ要素技術の纏め
小テスト
第6回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの要素技術についての発表資料の準備
各グループの発表資料準備
第7回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの要素技術について発表
各グループの発表及び、その内容について講義参加者の質問を含めた討論
第8回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの応用技術(1)の座学とグループディスカッション
有機EL分野及び討議
第9回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの応用技術(2)の座学とグループディスカッション
エレクトロニクス分野（センシング）、身近な化学・物理センサの討議
第10回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの応用技術(3)の座学とグループディスカッション
エレクトロニクス分野（3次元実装）、先端材料の討議
第11回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの応用技術(4)の座学とグループディスカッション
バイオ医療分野、医療における微細加工技術の討議
第12回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの応用技術の纏め
小テスト
第13回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの新しいコンセプトについて発表
各グループの発表資料準備
第14回[オンライン/online]：ナノ・マイクロデバイスの新しいコンセプトについて各グループの発表
その内容について講義参加者の質問を含めた討論
授業時間外の学習（準備学習・復習・宿題等）Work to be done outside of class (preparation, etc.)
【本授業の準備・復習時間は、各４時間を標準とします。】
1. 講義ノート、配布資料を復習する。
2. 講義内容について、理解を深めるため、参考書・インターネット等で調べる。
テキスト（教科書）Textbooks
配布資料
参考書References
はじめてのMEMS 江刺正喜著 森北出版
成績評価の方法と基準Grading criteria
[評価方法]レポート（50%）、発表（50%）
[評価基準]本科目が設定した目標値を60%以上達成した学生を合格とする
学生の意見等からの気づきChanges following student comments
特に無し
その他の重要事項Others
民間企業の開発業務に携わってきた教員が、企業におけるナノマイクロデバイスの開発プロセスについても講義する。